Stella オリジナルCADデータ比較測長アナライズシステム STシリーズ -統計的プロセス管理(歩留まり向上・特殊品製造)支援システム-
業界初の測長＆外観検査兼用装置「STシリーズ」のラインアップが充実!! デスクトップマシンから810×810㎜対応の大型基板対応機まで すべてのコンポーネント、ソフトウェアを自社開発＆自社製造した”マニュファクチュール”です。
ST-3040F/ST-2010Fならではの特徴
・シリーズ初のグラナイトステージ採用により耐振動性を大幅に改善し測長精度をUP ・グラナイトステージ採用にともない、クロスローラーベアリングを採用 ・驚異的な分解能を実現 モーションコントローラーの分解能：10nm(ST-3040F)、5nm(ST-2010F) マシンの位置決め分解能：50nm(ST-3040F)、20nm(ST-2010F) ・線膨張率0.4μm/m/℃(0～30℃)のインバースケールで驚異の分解能(ST-3040Fで50nm、ST-2010Fで20nm)のクローズドループ制御(オプションで分解能10nmが可能) ・自社開発のモーションコントローラーで10nmの位置決めをハンチングなしで実現 オプションで分解能はピコメータまで対応可能 ・2次元補正(コマ補正)により面内位置精度を補正(石英ゴールデンマスター使用可) ・環境チャンバ(オプション)を±0.2℃で制御することによりワークの線膨張の影響を最小限にして高精度測長 ・オプションでワーク温度を非接触で0.1℃の精度で測定可能(温度制御、測定はすべて自社開発) ・GPUテクノロジーを駆使した画像処理とデータマッチングによるAOI機能、エッチングシミュレータ機能を実現(オプション)。 ・高精度フォトマスクに最適
▲ST-2010F(210×210㎜基板対応)
▲ST-100(100×100㎜基板対応)
▲LST3040G(290×410㎜サイズ対応)
STシリーズのフィールド
特徴
CADデータ(ガーバーデータ)リンク STシリーズでは、CAM編集機Stella Visionとリンクしながら各測長・測定・検査を行うことができます。これにより、CAD データ（ガーバーデータ、DXFデータ、e.t.c.）を流用しての分析・解析が可能となります。
測長機能 STシリーズは測長機能を兼ね備えています。 ＸＹ寸法測長はもちろん、Ｚ（高さ・厚み等）も測長できます。 その他、角度、円弧、図形認識による中心点やコーナーも測長可能です。
CADデータ比較の測長判定機能 測長時はCAD データが持つ絶対値との比較が可能。 さらに、許容値（±値）を設定すれば合否判定も可能となります。
CADデータ(ガーバーデータ)フィードバック CAM編集ソフトウェア「Stella Vision for Java」 とリンクしながら測長するため、補正値を簡単にCADデータへフィードバックできます。
デジグラマ機能(検査ポイント向け) STシリーズはデジグラマとしても使用可能で、そのポイント情報はCAM編集ソフトウェア「Stella Vision for Java」 にフィードバックされ、そこからCADデータへの出力が可能になります。
フィルムからの簡易ガーバ化機能(フライングデータ作成向け) STシリーズではフィルムを取り込み、簡易CADデータ化することができます。 このため、フライングプローブ検査機用のガーバーデータ作成に最適といえます。
仕上がり値の解析やISO対応への最適 自動測長プログラムにより合否判定を行うため、ISO対応等、日常点検にも最適です。
統計的プロセス管理法(SPC) SPCはStatistical Process Controlの略で、STシリーズは統計的にプロセスを管理するのに最適です。 データ収集と分析によってプロセスの監視、問題の発見、プロセス性能の判定などができます。
恒温チャンバ いうまでもなく、高精度な測長を行うにはシステム内の温度を精密にコントロールする必要があります。すなわち、モニター上に表示されたパターン寸法は温度制御された環境で測定してこそ初めて意味のある数字になります。STシリーズはシステム内を±0.2℃以内に制御できる恒温チャンバ(オプション)を搭載。絶対的な測定精度を高めています。
1989年の創業以来、弊社はプリント基板業界、フォトマスク業界において、その革新性・省コスト性・着眼点及びそれら実際の成果においてユーザーの皆様より常に高い評価を頂いてきました。 スローガンといたしますSomething Special（人と違ったことを目指す）の考えを元に研究開発に大いに投資してまいりました。 当社独自の技術は機構設計、電子回路設計、光学設計、IC 開発、コンピュータソフトウェア開発と広範囲に渡り、システム開発に必要な要素をすべて独自開発しています。 そうして社内で蓄えられた膨大な技術を生かし、ユーザーの皆様に様々な角度で提案できるのです。 ここで紹介するSTシリーズは簡単な操作による多種多様な方式の測定機能に加え、画像や測定結果からベクターデータを作成する機能を持つ座標測定システムです。
STシリーズの動画イメージはこちらでご覧になれます。
ソフトウエア
測長ソフトウエアは弊社CAD/CAM システム「Stella Vision for JAVA」上で動作するため、 CADデータから測定箇所を指定したり、測定結果をCADデータ上に簡単に出力できます。 出力されたデータは、Stella Visionのサポートする各種フォーマット（Gerber、DXFなど）に変換できます。 多彩な画像処理機能により、コントラストが取りにくい対象でもエッジを取得できます。
測長検査コマンド 様々な測定方式 線幅、2点間または3点間、多点、直径、円弧、角度といった基本的な測定に対応しています。 位置決め機能との併用により、様々な箇所が測定できます。
多彩な位置機能 測定点への移動を補助する各種の座標位置決め機能があります。
オートフォーカス機能 画像フォーカス機能に対応しました。 フォーカスのサンプリングの範囲や位置を簡単なマウス操作で指定できるため、様々な対象にフォーカスを合わせることができます。 この機能により、Z方向（ハンダ厚・銅箔厚等）の測長も可能です。
測定結果の出力 測定結果はCADデータやCSVフォーマットのテキストファイル、または付属のプリンタに出力できます。
自動測長機能 この機能では、まずCADデータに線幅、穴径、距離、角度、円弧などの測長ポイントを設定し、測長データを作成します。 この後、作成した測長データを元に測長します。 もちろん、測定結果と設計値を比較することも可能です。
測長機能オフラインティーチング機能 さまざまな測長機能をティーチング方式で測長プログラムが作成できます。
CADデータ作成機能 表示中の基板を撮影し合成するパッチワーク機能を使用することにより、合成した画像をポリランデータへ変換することが可能です。また、カメラ画像を見ながら点を入力することで、CADデータを作成する図形描画機能もあります。ポリライ ン、 フラッシュの描画に対応しています。 これらの機能により、データがない基板やフィルムからもデータが作成できます。
自動デジグラマ機能 基板よりNC穴開け情報をデジグラマ機能で取り込む際、CADデータ作成機能と併用することにより、自動デジグラマ機能により取り込むことができます。 ①基板スキャンニング（透過） ②取り込まれたデータ（BMP）で自動プログラム作成 ③自動プログラム実行 ④取り込み後のデータの出力（Gerber、NC等）
自動測長コマンド設定概要
測長プログラム項目
CADデータで測長プログラム作成
自動測長コマンド・測長結果概要
ロードマップ
下のグラフはSTシリーズの機能を示しています。従来は寸法以外も含む測定、ソフトウェアAOI、レーザーリペアの三つがメイン機能ですが、近年、画像処理ボードを搭載しハードウェアAOIにブラッシュアップし、外観検査時間を高速化することに成功しました。
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