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CAD CAM システム
StellaVision
Fine Vision Router Vision Zig Vision
エッチング補正、工程の大幅削減&自動化
・他に類を見ない強力な輪郭抽出処理、内外自動判定を含むオフセット処理
・独自アルゴリズムによる超高速処理
・最小間隔を保ちながら形状に応じリニアにオフセットするエッチング補正処理
・半導体にも対応可能なエッチングシミュレーター機能
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測長・検査装置 STシリーズ、LSTシリーズ
基板外形の合否判定、データアナライザ
・業界初の測長&外観自動検査装置
・ローコスト化ニーズに対応(LSTシリーズ)
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リベア装置 Repair Vision
高精度リペア、ダイレクトエッチング
・数μmクラスの超微細欠陥がリペア可能
・R&D向けにレーザーダイレクトエッチング装置としても使用可能
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レーザー描画装置 Laser Plotter
フィルムマスク向けながら高精度描画
・最小線幅10μmが描画可能
・従来機種に比べスループットが60%以上アップ
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フィルムマスク貼り付け装置LCGM
フィルムマスクをガラス並みの寸法安定性に
・フィルムマスクをガラス並みの低熱膨張に
・接着剤塗布〜フィルムマスク接着〜UV硬化を一括処理
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エマルジョンフィルムマスク用自動現像装置
フルオートメーション
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カスタムメードプロダクト
※カスタマイズプロダクトにも対応します。
お気軽にお問い合わせください。 |