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Stellaオリジナル ローコスト版測長・検査装置 LSTシリーズ

測長＆外観検査兼用装置「STシリーズ」の機能を元に、新しい構造設計により低価格を実現
現場のニーズに合わせたカスタマイズ可能なローコスト版検査装置が誕生

特徴

�@機能拡張、カスタマイズ性
　STシリーズの構造を継承しつつ、長年培ってきた独自の要素技術を導入。作業現場のニーズに柔軟に対応可能です。

　カスタマイズ、機能拡張を行うことにより、現場のニーズに沿った検査装置が提供可能です。
例えばデータ補正によるファインパターン対応時に、その補正値を検出する装置として使用できます。

　また、目視アシスト機能として記録をとりながら検査可能です。
　もちろん、複数台を同期して操作することもできます。

�Aコンパクトで軽量、場所を選ばない検査装置
　コンパクトで軽量なLSTシリーズは場所を問わず設置できます。
　用途によってデスクトップでも使用可能です。
　また、静音設計ですので、騒音のために設置場所が制約されることはありません。

スペック
測定エリア：500×600�o
最小位置決め：0.5μm
倍率：×100、×400選択
速度：150�o/sec
線幅測定精度：1μm(×400時)

LSTシリーズの最新モデルが誕生!!

▲LST3040G

　LST4050Gは、現場ニーズに応じてカスタマイズすることにより生まれたローコスト版測長・検査装置です。

　LST4050Gは透過光を採用。デバイスの外形寸法や穴間ピッチ、スリット幅、コーナーR、穴と外形・角度などが測長・検査できます。
NC穴関連ではスーホール・非スルーホールの穴径や長穴寸法も測長可能です。

　コンパクトで軽量なため、場所を問わず設置が可能で、用途によってデスクトップでも使用できます。

　一般的に測長を行う場合、テーチングや測長ポイント入力といった測長の準備に時間がかかります。しかし、LST4050GではCADデータをベースに自動で測長プログラムが作成できます。このため、測長準備は不要です。また、弊社Router Visionソフトウエアとも連動しているため、データ作成から検査までを自動で一貫作業することができます。

　ソフトウエア仕様は以下の通りです。
�@最小表示単位：初期設定0.01mm
�A測定機能スキャン測定：スキャン方式による自動測定
自動測長：データに指定された測定箇所の自動測定
�BCADデータLinkデータに測定箇所と方法を設定する
�Cカメラ画像キャプチャキャプチャ機能有り
�D結果の出力方式CSV形式テキストファイル、印刷

エッチング結果をシミュレートするデータ解析装置も新登場!!

補正前	補正後
▲シミュレーション＆フィードバックオフセット(画像はエッチング後)

　さらに、弊社はLSTシリーズの付加価値型システムとして「LST3040A」を開発しました。

　LST3040Aはエッチング補正向けの究極版データ解析専用装置です。
デバイスのエッチング処理ではエッチャント(薬液)の種類やエッチング条件等、またそれらの状態変化によってエッチング結果が大きく左右されるため、理論値での補正では上手くいかない箇所が多々発生します。

　LST3040Aを効果的に活用したエッチング処理では、まずCADデータ(ガーバーデータ)を元にしてエッチングシミュレーションを行い、数パターンのエッチング結果を出力します。次に実基板を一度エッチングした後、そのエッチング結果をLST3040Aによりエッチングシミュレーション結果と比較し、一番近い結果を元データと合わせてフィードバックオフセットを実行して補正データを出力します。

　ユーザーは、この補正データを元に本エッチング処理を行うことにより、最適なエッチング結果を得ることができます。このため、エッチング処理を最適化するデータ解析ツール(装置)と位置づけられます。

　もちろん、LSTシリーズ本来の機能である測長・検査機能もオプションで追加設定可能です。

▲エッチングシミュレーション ※まず最初に行うエッチングシミュレーションのサンプルです。このように複数のサンプルを用意します。

�@補正前のガーバーデータでエッチング エッチング特性を確認するため、ノーマルデータを元にしてエッチング
�Aシミュレーションデータとエッチング結果を比較 エッチング結果とシミュレーション結果(複数)を比較し最適データを選択
�B元データをシミュレーションデータで自動補正 元データとシミュレーションデータからフィードバックオフセットを実行
�C補正データでエッチング フィードバックオフセットデータでエッチングし、その結果を確認

NEW PRODUCT

LSTシリーズにAOI(外観検査)機能を強化したニューモデル「LST4050AOI」をリリースしました。

<特徴>
・CADデータ完全比較による外観検査機能
・カラーCCD・エリアカメラによる測長・外観検査
・データ読み込みから検査開始まで5分以内とスピーディー
・スクリーンマスク(開口部メッシュにも対応)やエッチング後(トップ・ボトム)の厚銅品など特殊品にも対応
・低価格、軽量、場所をとらないコンパクトサイズ(用途によってデスクトップでも使用できます)

虚報も最小化！ 厚銅品にも最適！ CADデータ比較により属性を持てるため、特性にあった検査が可能

<おもな検査対象>
Laser Plotter出力フィルム
NC(穴位置、穴径、穴詰まり)
エッチング前(ドライフィルムレジスト)
エッチング後(トップ・ボトム)の厚銅品
スクリーンマスク(開口部メッシュにも対応)
メタルマスク

<機能紹介>
・カラーCCDの採用により、トップ・ボトム認識
　 部品パッドはトップ、パターンはボトムでの検査が可能

・CAD/CAMソフトウェア「Stella Vision」ベース
　 CADからラスター変換レスで即検査が可能
　 Stella Visionのデータをそのまま使用。ラスター変換作業も不要。
　 Gerber(RS-274D)(RS-274X)(RS-274X2)、DXF/DWG　GDS2　ODB++に対応

このデータ、この形状に対して許容値を設定 厚銅品やコーナー等の虚報が大幅に減少

　CADデータにエッチングシミュレーション補正
　 エッチング結果は形状変化とバラツキが発生し、実際のエッチング結果はCADデータに対し太り、細り、角の丸まり等が出てしまうのが現実です。

検査速度を高速化し量産にも対応可能なAOI装置をリリース

　ステラ・コーポレーションは、外観自動検査速度を高速化した測長＆外観自動検査(AOI)兼用装置「LST6050AOI-Twin」をリリースしました。ツインテーブルを採用することにより検査時間を高速化し、PCBなどの量産ラインにも適用できるようにしました。

　LST6050AOI-Twinはスループットを高めるためツインテーブルを採用。検査員1人で検査とベリファイを効率よく作業できます。部品面からはんだ面と基板の両面検査も可能です。

　また、モノクロのラインスキャンカメラに代わってカラーエリアカメラを搭載。変色や濃淡などの分類もできるほか、銅箔面はトップとボトムの分類も可能です。さらに、基板の反りの影響も軽減できます。

　検査アルゴリズムは従来からのCAD LINK完全比較方式を採用。このため、複雑な形状でも問題なく検査できます。

　さらに、PCBのエッチング前後はもちろん、穴開け後や開口部検査も可能など検査対象も多彩となっています。

　検査分解能は8μm、4μm、2μmの三つで、いうまでもなくパターンのオープン・ショート欠陥、ピンホール欠陥、突起欠陥などが自動で検出可能。もちろんAOIだけでなく、自動測長も可能となっています。

LST6050AOI-ベリファイ

　光学式外観検査装置のオプションとして「LST6050AOI-ベリファイ」をリリースしました。このため、オペレータ1名で外観検査とベリファイケーションを効率的に操作できます。

ワーク仕様(シングルテーブル)
　最大ベリファイ範囲：600×500�o
　最大ワークサイズ：650×550�o
　最大ワーク厚：5.0�o

ステージ仕様
　移動範囲：[XY] 610×510�o [Z]15�o
　テーブルサイズ：650×550�o
　駆動方式：ステッピングモーター＋ベルトドライブ

カメラ・レンズ仕様(シングルテーブル)
　カメラ：CMOSカラーカメラ
　照明：リング照明、透過照明
　レーザーポインタ：有(赤色)

ソフトウエア仕様
　読み込みデータ：SBZ・Gerber 274D・X・DPF・DXF・NC 他CAM全般
　アライメント：データ上指定の3点または4点
　レビュー機能：有
　カメラ画像撮影：有

PC仕様
　OS：Windows10 Pro 64bit
　CPU：IntelまたはAMD
　メモリー：16GB以上
　ハードディスク容量：1TB以上

スクリーンマスク用AOI「LST4050AOI」

・突起、欠陥の検出能力は1μm
・スクリーンメッシュに絡みついた異物や乳剤残りを検出
・細線開口部にスクリーンメッシュで完全に塞がれた箇所を検出
・乳剤上にある微細ピンホールを検出
・乳剤の色合いや濃淡の違いによる検出能力差がない
・スループットは100×100�oで約9分(@0.7μm画素)
・アライメントフリーで簡単操作
・オプションによりツインテーブル(2台連結)にすればスループットがさらにUP
・低価格、軽量、場所をとらないコンパクトサイズ(用途によってデスクトップでも使用できます)

�潟Xテラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
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