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Stellaオリジナル ローコスト版測長・検査装置 LSTシリーズ
測長＆外観検査兼用装置「STシリーズ」の機能を元に、新しい構造設計により低価格を実現
現場のニーズに合わせたカスタマイズ可能なローコスト版検査装置が誕生
特徴
①機能拡張、カスタマイズ性
STシリーズの構造を継承しつつ、長年培ってきた独自の要素技術を導入。作業現場のニーズに柔軟に対応可能です。
カスタマイズ、機能拡張を行うことにより、現場のニーズに沿った検査装置が提供可能です。
例えばデータ補正によるファインパターン対応時に、その補正値を検出する装置として使用できます。
| 測定エリア |
500×600㎜ |
| 最小位置決め |
0.5μm |
| 倍率 |
×100、×400選択 |
| 速度 |
150㎜/sec |
| 線幅測定精度 |
1μm(×400時) |
また、目視アシスト機能として記録をとりながら検査可能です。
もちろん、複数台を同期して操作することもできます。
②コンパクトで軽量、場所を選ばない検査装置
コンパクトで軽量なLSTシリーズは場所を問わず設置できます。
用途によってデスクトップでも使用可能です。
また、静音設計ですので、騒音のために設置場所が制約されることはありません。
AOI強化モデルLST-AOI
LST4050AOIは、LSTシリーズにAOI(外観検査)機能を強化したモデルです。
<特徴>
・CADデータ完全比較による外観検査機能
・カラーCCD・エリアカメラによる測長・外観検査
・データ読み込みから検査開始まで5分以内とスピーディー
・スクリーンマスク(開口部メッシュにも対応)やエッチング後(トップ・ボトム)の厚銅品など特殊品にも対応
・低価格、軽量、場所をとらないコンパクトサイズ(用途によってデスクトップでも使用できます)
<おもな検査対象>
Laser Plotter出力フィルム
NC(穴位置、穴径、穴詰まり)
エッチング前(ドライフィルムレジスト)
エッチング後(トップ・ボトム)の厚銅品
スクリーンマスク(開口部メッシュにも対応)
メタルマスク
虚報も最小化！
厚銅品にも最適！
CADデータ比較により属性を持てるため、特性にあった検査が可能 |
<機能紹介>
・カラーCCDの採用により、トップ・ボトム認識
部品パッドはトップ、パターンはボトムでの検査が可能
・CAD/CAMソフトウェア「Stella Vision」ベース
CADからラスター変換レスで即検査が可能
Stella Visionのデータをそのまま使用。ラスター変換作業も不要。
Gerber(RS-274D)(RS-274X)(RS-274X2)、DXF/DWG GDS2 ODB++に対応
㈱ステラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
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