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Stellaオリジナル ローコスト版測長・検査装置 LSTシリーズ
測長＆外観検査兼用装置「STシリーズ」の機能を元に、新しい構造設計により低価格を実現
現場のニーズに合わせたカスタマイズ可能なローコスト版検査装置が誕生
特徴
①機能拡張、カスタマイズ性
STシリーズの構造を継承しつつ、長年培ってきた独自の要素技術を導入。作業現場のニーズに柔軟に対応可能です。
カスタマイズ、機能拡張を行うことにより、現場のニーズに沿った検査装置が提供可能です。
例えばデータ補正によるファインパターン対応時に、その補正値を検出する装置として使用できます。
| 測定エリア |
500×600㎜ |
| 最小位置決め |
0.5μm |
| 倍率 |
×100、×400選択 |
| 速度 |
150㎜/sec |
| 線幅測定精度 |
1μm(×400時) |
また、目視アシスト機能として記録をとりながら検査可能です。
もちろん、複数台を同期して操作することもできます。
②コンパクトで軽量、場所を選ばない検査装置
コンパクトで軽量なLSTシリーズは場所を問わず設置できます。
用途によってデスクトップでも使用可能です。
また、静音設計ですので、騒音のために設置場所が制約されることはありません。
付加価値型システムLST3040A
さらに、弊社はLSTシリーズの付加価値型システムとして「LST3040A」を開発しました。
LST3040Aはエッチング補正向けの究極版データ解析専用装置です。
デバイスのエッチング処理ではエッチャント(薬液)の種類やエッチング条件等、またそれらの状態変化によってエッチング結果が大きく左右されるため、理論値での補正では上手くいかない箇所が多々発生します。
LST3040Aを効果的に活用したエッチング処理では、まずCADデータ(ガーバーデータ)を元にしてエッチングシミュレーションを行い、数パターンのエッチング結果を出力します。次に実基板を一度エッチングした後、そのエッチング結果をLST3040Aによりエッチングシミュレーション結果と比較し、一番近い結果を元データと合わせてフィードバックオフセットを実行して補正データを出力します。
ユーザーは、この補正データを元に本エッチング処理を行うことにより、最適なエッチング結果を得ることができます。このため、エッチング処理を最適化するデータ解析ツール(装置)と位置づけられます。
もちろん、LSTシリーズ本来の機能である測長・検査機能もオプションで追加設定可能です。
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▲エッチングシミュレーション
※まず最初に行うエッチングシミュレーションのサンプルです。このように複数のサンプルを用意します。 |
プロセスフロー
①補正前のガーバーデータでエッチング
エッチング特性を確認するため、ノーマルデータを元にしてエッチング |
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②シミュレーションデータとエッチング結果を比較
エッチング結果とシミュレーション結果(複数)を比較し最適データを選択 |
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③元データをシミュレーションデータで自動補正
元データとシミュレーションデータからフィードバックオフセットを実行 |
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④補正データでエッチング
フィードバックオフセットデータでエッチングし、その結果を確認 |
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㈱ステラ・コーポレーション
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