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Stella 測長・検査総合システム「ステラアナライザーⅡシリーズ」
2020年、これまでのステラのノウハウをすべて注ぎ込んだ測長・検査総合システム「ステラアナライザーⅡシリーズ」を開発しました。
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自動観察ステージ
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| 照明 |
透過、落射照明 |
| ズームレンズ |
0.35～2.25X |
| テーブルサイズ |
400×500㎜ |
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オプション機能
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| 自動測長 |
オフラインティーチング自動測定、DXFデータ測長用自動変換可 |
| ソフトウェアAOI |
CADデータ比較AOI |
| 基板スキャニング |
画像データベクトル化 |
| 高速AOI |
ハードウェアAOI |
| レーザー彫刻、リペア |
15W高出力レーザーヘッド |
| クリーンチャンバ |
温度制御，HEPAフィルター |
| 高倍率顕微鏡レンズ |
2X，5X，10X，20X，50X |
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高剛性フレーム仕様
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| ドリラールーター機能 |
エアースピンドル方式 |
基本機能として線幅測定、長寸法測定、AOI(外観検査)が可能です。また、CADデータリンク自動測長、CADデータリンクオーバーレイ表示、CADデータリンク自動外観検査、CADデータリンク高速外観検査、検査結果ベリフィケーション機能、欠陥リペア機能、ダイレクトエッチング機能、外形加工機能など豊富なオプションを用意しており、ユーザーニーズに合ったカスタマイズ化ができます。
小型軽量なためテーブルトップで使用可能(400×500㎜まで)で、オプションの環境環境チャンバを設ければ、オフィス環境でも温調クリーンブース環境で使用できます。
㈱ステラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032
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