ステラ・コーポレーション 700×800�o基板対応のハイエンド測長＆AOI兼用装置を開発
ステージに加え、ガントリーにもグラナイトを採用し測長＆検査精度を向上

▲グラナイト製ガントリー

　ステラ・コーポレーション(代表取締役：大竹信男)は、自動測長＆自動外観検査(AOI)兼用装置"STシリーズ"のニュープロダクトとして700×800�o基板対応の「ST-7080F」を開発することに成功しました。用途はデバイス・電子部品メーカー向けの内製スクリーンマスク・フォトマスクを含めたマスク関連、ハイエンドPCB、エッチング加工品、ガラス乾板向けなどを想定しており、近くユーザーのテスト基板を用いたデモを開始する予定です。

　ST-7080Fは耐振動性をミニマム化するため、基板をセットするステージはもちろんのこと、Y移動するコラムガントリーもグラナイトを採用。ステッピングモーター＋ボールねじ 駆動ながら、STシリーズ史上最高の精度を実現しました。実際、その位置決め精度は(2＋L/250)μmが得られています。ガントリーがY方向、ガントリー上に設けたヘッドがX移動する仕組みで、従来機に比べフットプリントも大幅にコンパクト化することに成功しました。

▲ST-7080F

　AOI機能に関しては最小ピクセル170nm、350nm、700nm、1700nmで、最小欠陥サイズはそれぞれ500nm、1000nm、2000nm、5000nm。オプションで最小ピクセルサイズ60nm、最小欠陥サイズ250nmも計画しています。

�潟Xテラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032
e-Mail support@stellacorp.co.jp
ホームページ https://www.stellacorp.co.jp

過去のニュースはこちら