ステラ・コーポレーションは、AI(Artificial Intelligence)機能を搭載した外観自動検査(AOI)装置を開発することに成功しました。AIによって欠陥判定結果を自動的に学習し、時間の経過とともに検査精度をより高める仕組みで、まずはスクリーンマスク用AOI装置に搭載します。

▲AIラーニングの流れ

　独自のプログラミング＆アルゴリズムによってAIラーニング機能を開発しました。写真に沿って処理フローを説明すると、まずワークを撮像し自動検査を行います。そして、自動的に検査結果を表示し、AIによって欠陥の種類を異物、乳剤残り、虚報(疑似欠陥)などに判定。これをオペレータがモニター画面上で確認し、その判定が正しいかどうかを判断し、間違っていれば欠陥種類を訂正。このレビュー結果を判定データベースとして蓄積し、AI機能を高めていく仕組みです。

　いうまでもなく、AOIにとって虚報の発生は避けられませんが、その数をミニマム化することによってオペレータの負荷が少なくなり、結果的にデバイス製造コストが削減できます。また、繰り返しのティーチングによって、これまで不可能とされてきた人間の感性に基づく官能検査も可能になります。

▲スクリーンマスクのAOI例

▲欠陥リスト画面

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