有機ELD製造フロー

パッシブマトリクス駆動有機ELディスプレイ製造フローとステラプロダクト

製造フロー(PM駆動低分子カラーパネル)	ステラプロダクト
デバイス構造
①CADデータ作製	CAD/CAMソフトウェア「Fine Vision」
②アノード形成	レジスト現像後およびパターニング後、測長＆外観検査測長＆AOI装置「STシリーズ」 ITOパターニング後、リペアリペア装置「Repair Vision」
(③ 補助電極形成)	レジスト現像後およびパターニング後、測長＆外観検査測長＆AOI装置「STシリーズ」メタルパターニング後、リペアリペア装置「Repair Vision」
④絶縁層形成	現像後、測長＆外観検査測長＆AOI装置「STシリーズ」
⑤カソードセパレータ形成	現像後、測長＆外観検査測長＆AOI装置「STシリーズ」
⑥ホール注入層、ホール輸送層形成
⑦発光層形成
⑧電子輸送層形成
⑨アルカリバッファ層形成
⑩カソード形成
⑪封止
⑫スクライブ・ブレーク
⑬回路基板実装
⑭円偏光フィルム貼り付け

㈱ステラ・コーポレーション
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