電子ペーパー製造フロー

パッシブマトリクス駆動電子ペーパー製造フローとステラプロダクト

製造フロー(PM駆動マイクロカプセル型電気泳動ディスプレイの例)	ステラプロダクト
デバイス構造
①CADデータ作製	CAD/CAMソフトウェア「Fine Vision」
②ガスバリア層形成(前面基板)
③透明電極形成(前面基板)	レジスト現像後およびITO膜パターニング後、測長＆外観検査測長＆AOI装置「STシリーズ」 ITOパターニング後、リペアリペア装置「Repair Vision」
④エレクトリックインク印刷(前面基板)
⑤透明電極形成(背面基板)	レジスト現像後およびITO膜パターニング後、測長＆外観検査測長＆AOI装置「STシリーズ」 ITOパターニング後、リペアリペア装置「Repair Vision」
⑥シール層形成(背面基板)
⑦両面基板貼り合わせ

㈱ステラ・コーポレーション
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