ローコスト版検査装置「LST-600」が新登場
測長＆外観検査兼用装置「STシリーズ」の機能を元に、新しい構造設計により低価格化 現場のニーズに合わせたカスタマイズ可能なローコスト版検査装置が誕生
特徴
①機能拡張、カスタマイズ性 既存のSTシリーズの構造を継承しつつ、長年培ってきた独自の要素技術を導入。作業現場のニーズに柔軟に対応可能です。
カスタマイズ、機能拡張を行うことにより、現場のニーズに沿った検査装置が提供可能です。 例えばデータ補正によるファインパターン対応時に、その補正値を検出する装置として使用できます。 また、目視アシスト機能として記録をとりながら検査可能です。 もちろん、複数台を同期して操作することもできます。
②コンパクトて軽量、場所を選ばない検査装置 コンパクトで軽量なLSTシリーズは場所を問わず設置できます。 用途によってデスクトップでも使用可能です。 また、静音設計ですので、騒音のために設置場所が制約されることはありません。
スペック 測定エリア：500×600㎜ 最小位置決め：0.5μm 倍率：×100、×400選択 速度：150㎜/sec 線幅測定速度：1μm(×400時)
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