ステラ 測長＆外観検査兼用装置の検査速度を大幅に向上 5インチ基板の場合、分解能1μmで検査時間を5分に短縮
㈱ステラ・コーポレーションは、業界初の測長＆外観検査(AOI)兼用装置「STシリーズ」の外観自動検査時間を大幅に短縮することに成功した。従来のエリアCCDカメラに加えラインスキャンCCDカメラを搭載するとともに複数の検査アルゴリズムを用いることにより、5インチ基板の場合、分解能1μmで検査時間を5分に高速化した。まずは210×210㎜基板対応の「ST-200」に搭載、1号機を海外の研究機関に出荷した。
新たに生まれ変わったST-200は500万画素のエリアCCDカメラに加え、7400画素のラインスキャンCCDカメラを搭載。エリアCCDカメラはパターンの寸法測定(測長)と外観検査後のレビューに、ラインスキャンCCDカメラはAOIに用いる。パターンのオープン・ショート欠陥、ピンホール欠陥、突起欠陥などが自動で検出可能で、ラインCCDカメラをスキャンした直後に高速画像処理を行うことによりリアルタイムに近い高速画像変換処理を実現した。また、検査アリゴリズムはDRC(Design Rule Check)法、CADデータ直接比較法など複数のメソッドを用いることにより検査時間を短縮した。
具体的には5インチ基板の場合、分解能2μmで90秒、分解能1μmで5分、分解能0.5μmで30分に検査時間を高速化。これは従来に比べ1/5程度に当たる。その一方、最小分解能は0.1μmで、サブミクロンクラスの微細欠陥も検出できる。また、ニーズ次第ではレーザーリペアヘッドも搭載でき、この場合、測長、AOI、レビュー、リペアという1台4役のマルチファンクションマシンになる。
用途は各種フォトマスクやファインピッチPCBなどを想定しており、冒頭のように先頃ST-200を1号機を出荷。もちろん、ST-100(100×100㎜基板対応)、ST-600(610×610㎜基板対応)、ST-750(750×750㎜基板対応)、ST-800(810×810㎜基板対応)もブラッシュアップ可能で、今後1年間で10台の出荷を見込んでいる。
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