ステラ 半導体プローバー用のピンジク測長＆ピン形状検査装置を開発
CAD/CAMソフトウェアや独自の画像処理装置を手がける㈱ステラ･コーポレーション(代表取締役：大竹信男、本社：千葉県船橋市)は、半導体用プローバー向けのピンジク測長＆ピン形状検査装置を開発しました。プローバーに搭載するピンジグの位置精度を測長するとともに、その先端形状を検査し、さらにピン圧も測定できる1台3役の装置で、このほどプローバーメーカーから1号機を受注しました。
プローバーは、半導体デバイスにピンジグを立ててオープン/ショート検査を行います。ピンジグには高い位置精度が要求されるとともに、半導体チップを傷つけないよう先端形状にも厳しい制約があります。さらに、コンタクト時の接触抵抗を一定にするため、ピン圧も均一なことが求められます。
今回受注したのはこれらの三大要求すべてを満たした世界初のシステムで、既存の座標寸法測定＆外観検査兼用装置「ST-200(210×210㎜基板対応)」をベースにしてカスタマイズ開発しました。ピンパターンは分解能10nmで位置が測定可能です。また、ピン形状はCADデータを用いての完全比較検査が可能で、CCDカメラ解像度は0.75μmを誇ります。さらに、ピン圧は最大100gまで10mg単位で測定することができます。
ステラ・コーポレーションはCAD/CAMソフトウェア「Stella Vision for JAVA」および測長＆外観検査ハードウェア「STシリーズ」に自社開発した要素技術をプラスしたカスタマイズ製品の開発・受注活動も展開。今回の装置はこうした一貫によるもので、今後もユーザーニーズにカスタマイズしたプロダクトを積極的に開発・販売していく方針です。
㈱ステラ・コーポレーション 〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7 Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032 e-Mail support@stellacorp.co.jp ホームページ http://www.stellacorp.co.jp
