ステラ 検査時間を大幅に短縮できる目視アシスト検査装置を受注
CAD/CAMソフトウェアや独自の画像処理装置を手がける㈱ステラ･コーポレーション(代表取締役：大竹信男、本社：千葉県船橋市)は、このほどスクリーンマスクおよびメタルマスク用目視アシスト検査装置「ST-750」を受注しました。
目視アシスト検査装置はその名のとおり、スクリーンマスクやメタルマスクの目視検査に有効な装置です。具体的には、XY方向にスキャンするCCDカメラで撮像した画像をパソコン画面上に表示し、欠陥の有無を検査員が判定。欠陥箇所のXY座標を登録しレビューすることができます。さらに、元の設計データと重ね合わせながら実画像を検査することも可能です。もちろん、画像の拡大倍率も自在に指定できます。
スクリーンマスク・メタルマスク完成後の検査に加え、検査～リペア後のリペアレビューにも有効で、これまで投影機を使って目視していた検査に比べ検査時間を大幅に短縮することができます。もちろん、検査結果をフィードバックし工程不具合いを解明する歩留まり向上ツールとしても活用できます。対応サイズは750×750㎜です。
ちなみに、STシリーズはST-100(100×100㎜基板対応)、ST-200(210×210㎜基板対応)、ST-4OO(410×410㎜基板対応)、ST-600(610×610㎜基板対応)、ST-800(810×810㎜基板対応)を製品化。今回のST-750受注により、さらにラインアップが充実し、各種基板サイズに対応できるようになりました。
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