会社概要 製品情報 サポート/ダウンロード お問い合わせ

Stellaオリジナル ローコスト版測長・検査装置 LSTシリーズ

測長&外観検査兼用装置「STシリーズ」の機能を元に、新しい構造設計により低価格を実現
現場のニーズに合わせたカスタマイズ可能なローコスト版検査装置が誕生

特徴

@機能拡張、カスタマイズ性
 STシリーズの構造を継承しつつ、長年培ってきた独自の要素技術を導入。作業現場のニーズに柔軟に対応可能です。

 カスタマイズ、機能拡張を行うことにより、現場のニーズに沿った検査装置が提供可能です。
例えばデータ補正によるファインパターン対応時に、その補正値を検出する装置として使用できます。

 また、目視アシスト機能として記録をとりながら検査可能です。
 もちろん、複数台を同期して操作することもできます。

Aコンパクトで軽量、場所を選ばない検査装置
 コンパクトで軽量なLSTシリーズは場所を問わず設置できます。
 用途によってデスクトップでも使用可能です。
 また、静音設計ですので、騒音のために設置場所が制約されることはありません。

スペック
測定エリア:500×600o
最小位置決め:0.5μm
倍率:×100、×400選択
速度:150o/sec
線幅測定精度:1μm(×400時)

LSTシリーズの最新モデルが誕生!!

測定物仕様
測定可能範囲 290×410 mm
最大基板サイズ 349×473 mm
基板厚 0.1〜4.0mm
総合精度 ±0.02mm
測定精度 ±0.01mm
ステージ仕様
移動範囲 [XY]310×410mm [Z]20 mm
テーブルサイズ 349×473mm
駆動方式 ステッピングモーター+ボールねじ
制御 リニアスケールによるクローズドループ
移動分解能 0.001mm
観察仕様(エリアカメラ)
カメラ 1400万画素CMOSカラーカメラ(4384×3288)
レンズ倍率 0.14×
画素寸法 0.01mm
照明 透過,
機械仕様
本体寸法 (W×L×H) 635×730×550 mm
重量 約40s
電源 単相AC100V(+10%-5%)+接地アース

▲LST3040G

 LST4050Gは、現場ニーズに応じてカスタマイズすることにより生まれたローコスト版測長・検査装置です。

 LST4050Gは透過光を採用。デバイスの外形寸法や穴間ピッチ、スリット幅、コーナーR、穴と外形・角度などが測長・検査できます。
NC穴関連ではスーホール・非スルーホールの穴径や長穴寸法も測長可能です。

 コンパクトで軽量なため、場所を問わず設置が可能で、用途によってデスクトップでも使用できます。

 一般的に測長を行う場合、テーチングや測長ポイント入力といった測長の準備に時間がかかります。しかし、LST4050GではCADデータをベースに自動で測長プログラムが作成できます。このため、測長準備は不要です。また、弊社Router Visionソフトウエアとも連動しているため、データ作成から検査までを自動で一貫作業することができます。

 ソフトウエア仕様は以下の通りです。
@最小表示単位:初期設定0.01mm
A測定機能スキャン測定:スキャン方式による自動測定
自動測長:データに指定された測定箇所の自動測定
BCADデータLinkデータに測定箇所と方法を設定する
Cカメラ画像キャプチャキャプチャ機能有り
D結果の出力方式CSV形式テキストファイル、印刷

エッチング結果をシミュレートするデータ解析装置も新登場!!

補正前
補正後
▲シミュレーション&フィードバックオフセット(画像はエッチング後)

 さらに、弊社はLSTシリーズの付加価値型システムとして「LST3040A」を開発しました。

 LST3040Aはエッチング補正向けの究極版データ解析専用装置です。
デバイスのエッチング処理ではエッチャント(薬液)の種類やエッチング条件等、またそれらの状態変化によってエッチング結果が大きく左右されるため、理論値での補正では上手くいかない箇所が多々発生します。

 LST3040Aを効果的に活用したエッチング処理では、まずCADデータ(ガーバーデータ)を元にしてエッチングシミュレーションを行い、数パターンのエッチング結果を出力します。次に実基板を一度エッチングした後、そのエッチング結果をLST3040Aによりエッチングシミュレーション結果と比較し、一番近い結果を元データと合わせてフィードバックオフセットを実行して補正データを出力します。

 ユーザーは、この補正データを元に本エッチング処理を行うことにより、最適なエッチング結果を得ることができます。このため、エッチング処理を最適化するデータ解析ツール(装置)と位置づけられます。

 もちろん、LSTシリーズ本来の機能である測長・検査機能もオプションで追加設定可能です。

▲エッチングシミュレーション ※まず最初に行うエッチングシミュレーションのサンプルです。このように複数のサンプルを用意します。


プロセスフロー

@補正前のガーバーデータでエッチング
エッチング特性を確認するため、ノーマルデータを元にしてエッチング
Aシミュレーションデータとエッチング結果を比較
エッチング結果とシミュレーション結果(複数)を比較し最適データを選択
B元データをシミュレーションデータで自動補正
元データとシミュレーションデータからフィードバックオフセットを実行
C補正データでエッチング
フィードバックオフセットデータでエッチングし、その結果を確認

NEW PRODUCT

LSTシリーズにAOI(外観検査)機能を強化したニューモデル「LST4050AOI」をリリースしました。

<特徴>
・CADデータ完全比較による外観検査機能
・カラーCCD・エリアカメラによる測長・外観検査
・データ読み込みから検査開始まで5分以内とスピーディー
・スクリーンマスク(開口部メッシュにも対応)やエッチング後(トップ・ボトム)の厚銅品など特殊品にも対応
・低価格、軽量、場所をとらないコンパクトサイズ(用途によってデスクトップでも使用できます)


虚報も最小化!
厚銅品にも最適!
CADデータ比較により属性を持てるため、特性にあった検査が可能

<おもな検査対象>
Laser Plotter出力フィルム
NC(穴位置、穴径、穴詰まり)
エッチング前(ドライフィルムレジスト)
エッチング後(トップ・ボトム)の厚銅品
スクリーンマスク(開口部メッシュにも対応)
メタルマスク

<機能紹介>
・カラーCCDの採用により、トップ・ボトム認識
  部品パッドはトップ、パターンはボトムでの検査が可能

・CAD/CAMソフトウェア「Stella Vision」ベース
  CADからラスター変換レスで即検査が可能
  Stella Visionのデータをそのまま使用。ラスター変換作業も不要。
  Gerber(RS-274D)(RS-274X)(RS-274X2)、DXF/DWG GDS2 ODB++に対応


このデータ、この形状に対して許容値を設定
厚銅品やコーナー等の虚報が大幅に減少

 CADデータにエッチングシミュレーション補正
  エッチング結果は形状変化とバラツキが発生し、実際のエッチング結果はCADデータに対し太り、細り、角の丸まり等が出てしまうのが現実です。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

スクリーンマスク用AOI「LST4050AOI」

・突起、欠陥の検出能力は1μm
・スクリーンメッシュに絡みついた異物や乳剤残りを検出
・細線開口部にスクリーンメッシュで完全に塞がれた箇所を検出
・乳剤上にある微細ピンホールを検出
・乳剤の色合いや濃淡の違いによる検出能力差がない
・スループットは100×100oで約9分(@0.7μm画素)
・アライメントフリーで簡単操作
・オプションによりツインテーブル(2台連結)にすればスループットがさらにUP
・低価格、軽量、場所をとらないコンパクトサイズ(用途によってデスクトップでも使用できます)

潟Xテラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032
e-Mail support@stellacorp.co.jp
ホームページ http://www.stellacorp.co.jp

トップページに戻る  ←測長・外観検査装置のトップページに戻る