機能：スクリーンマスクの乳剤パターン抽出機能 主要用途：スクリーンマスクのパターン測長 対象膜：感光性乳剤
特徴 ステンレスなどのメッシュパターンと乳剤パターンが混在するスクリーンマスクを画像処理する際は輝度による2値化処理が一般的ですが、この場合、乳剤パターン内のメッシュが残ってしまい、乳剤パターンを正確に測定することが困難でした。
これに対し、ステラは色相による2値化処理など20種類以上におよぶ画像フィルタリング処理プログラムを開発。メッシュパターンを消し、乳剤パターンだけを浮かび上がらせることに成功しました。
具体的な手順は、まずCCDカメラで元パターンを撮像します。続いて、上記の各種フィルタリング処理を設定します。この結果、スクリーンマスクの紗が消え、乳剤パターンだけがモニター上に映し出されます。ここで検出した乳剤パターンの輪郭を元パターンに重ね合わせることによりエッジが正確に検出できるようになります。この後、設定した測定ポイントを自動で測長する仕組みです。この結果、従来の輝度による2値化処理に比べ測定精度が大幅に向上しました。
写真5 抽出した輪郭を重ね合わせた元データ画像
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