独自動作が可能なマニピュレーターを開発

　ステラ・コーポレーションは、独自のモーションコントロール機構によって従来不可能だった繰り返し動作を実現したマニピュレーターシステムを開発することに成功しました。メタルマスク表面のバリ取りや付着したパーティクルの除去などに有効と考えています。

写真1 マニピュレーター(プロトタイプ)

　開発したマニピュレーターは、高硬度のW(タングステン)ニードルを使用。このニードルを基板に接触させてバリ取りなどを行います。その径は1〜10μmで、表面をレーザー加工でやすり加工することによって物理的強度を確保しました。また、独自のパーティクル回収ユニットにより、ニードルに付着したオイル成分やパーティクルを回収し再付着を抑止します。

　最大の特徴は、複数の動作モードによってニードルを自動作動させることができる点。具体的には、サークルモードでは円弧を描くように繰り返しスクラッチ、スクラッチモードでは斜線状で往復スクラッチ、さらにアークモードでは半円を描く形でスクラッチ動作します。システム制御は同時4軸並行で行われ、最小分解能は50nmで制御されます。50nm単位でのパルス移動や最高速5mm/secでの高速移動も可能です。これまでに製品化されているマニピュレーターは基本的に一方向しか動作しませんが、測長・AOI装置に搭載している独自のモーションコントロール技術によって上記のような動作モードを実現しました。

　参考として写真2にメタルマスクサンプルを用いたテスト画面を示します。

写真2 メタルマスクサンプルを用いたテスト画面

　

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