-- システム構成 --
■ システム基本構成 ■ |
PCコントローラー |
Windowsマシンにて動作。テーブル及びレーザーのコントロール |
モーションコントローラー |
X,Yのモーションとスピードを制御 |
オプティクス |
・高精度Plan-Opticsを採用。
・ディフェクトサイズに合わせた正確なターゲットを実現するVAPEユニット。 |
レーザー |
・黒ピン補正のための266 nmまたは532 nm、QスイッチYagレーザー
・白ピンにペーストを焼き付ける780 nm 1 W、IRレーザー(オプション) |
CCDカメラ |
・すべてのプロセスをCCDカメラにて観察(眼の保護のため)
・レポート用キャプチャー機能 |
白ピン補正;(オプション) |
・金、またはパラジウムペースト
・窒素洗浄(黒ピン補正時のレンズクリーニング用) |
■ 仕様概略 ■ |
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ST-500 |
ST-1100 |
ステージ部分 |
XYステージ駆動 |
ステップモーター(マイクロステップ制御) |
最小移動距離 |
0.1μm |
移動速度 |
最大150mm/sec |
繰り返し位置決め精度 |
±5μm |
有効エリア |
500mm x 500mm |
1100mm x 850mm |
ワークサイズ |
700mm x 500mm |
1200mm x 900mm |
本体サイズ |
外寸(H x W x Y) |
1100mm x 1250mm x 1700mm |
2200mm x 1200mm x 1950mm |
重量 |
250kg |
400kg |
消費電力 |
2KVA |
熱量 |
929kcal/h |
レーザー発振器 |
Nd:YAG(波長532nm) |
加工スリット |
電動X, Y, θスリット |
アパーチャーサイズ |
最小2 um, 最大50 um |
対物レンズ |
×4, ×10, ×20, ×50 |
観察用照明 |
落射、透過照明 |
カメラ |
CCDカメラ(USB) |
■ コントローラ |
コントローラーPC |
IBM / AT互換機 (Intel Pentium4) |
OS |
Windows |
ソフトウェア機能 |
座標値移動(絶対・相対)、スピードコントロール、アライメント設定
(スキューネス、スケール)、外部ファイル読み込み(座標データー)、その他 |
■ その他 |
主なオプション機能 |
測長機能ソフトウェア、特殊形状アパーチャー |
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