ST100は、デスクトップ環境でMEMS、PCB、バイオチップ、ディスプレイなどのデバイスの構造物を測長するR&D向け測長機です。対応基板サイズは100×100㎜で、写真のようにコンパクトサイズのためノートパソコンやデスクトップパソコンとUSB接続してデスクトップ上で手軽に測長できます。内製したモーションコントローラーによってヘッドの移動分解能を10nmに高めており、×50レンズを用いれば±0.1μmクラスという高精度測定が実現します。もちろん、XY方向だけでなく、Z方向の測定も可能で、1μm以上ならば膜厚も高精度で測定できます。
さらに、STシリーズに共通する検査機能も搭載。元の設計データと実際のパターンを重ね合わせてパソコンモニター上に表示することができ、パーティクルや欠陥などをモニタリングしてみつけることができます。このため、撮像した画像をみながら目視で検査するアシスト検査が容易です。さらに、あらかじめ指定したスレッショルドによって欠陥の合否を判定する自動検査も可能で、単なる測長装置や検査装置といったカテゴリーにとどまらないアナライザとなっています。
㈱ステラ・コーポレーション 〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7 Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032 e-Mail support@stellacorp.co.jp ホームページ http://www.stellacorp.co.jp
