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Stellaオリジナル スクリーンマスクAOI ST-6050
ST-6050はスクリーンマスク専用として開発したＡＯＩ装置です。
・突起、欠陥の検出能力は1μm
・スクリーンメッシュに絡みついた異物や乳剤残りを検出
・細線開口部にスクリーンメッシュで完全に塞がれた箇所を検出
・乳剤上にある微細ピンホールを検出
・乳剤の色合いや濃淡の違いによる検出能力差がない
・スループットは100×100㎜で約9分(@0.7μm画素)
・アライメントフリーで簡単操作
・オプションによりツインテーブル(2台連結)にすればスループットがさらにUP
・低価格、軽量、場所をとらないコンパクトサイズ(用途によってデスクトップでも使用できます)
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測定物仕様
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| 測長可能範囲 |
590×490㎜ |
| 最大測定物サイズ |
700×750mm |
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ステージ仕様
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| 移動範囲[XY] |
610×510mm |
| 移動範囲[Z] |
50mm |
| 駆動方式 |
ステッピングモーター＋ボールねじ |
| 制御 |
リニアスケールによるクローズドループ |
| 移動分解能 |
0.001mm |
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観察仕様(エリアカメラ)
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（ズームレンズ） |
（顕微鏡） |
| レンズ倍率 |
1×～4× |
2X/5X/10X/20X/50X |
| 視野範囲 |
6.48×3.61mm(1X)
～1.62×1.15mm(4X) |
3.28×2.30mm(2X)～
0.13×0.09mm(50X) |
| 画素寸法 |
3.2(1X)～0.8μm(4X) |
1.6(2X)～0.06μm(50X) |
| カメラ |
500万画素CMOSカラーカメラ |
| 照明 |
落射照明、同軸落射、透過照明 |
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ソフトウェア仕様
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| 最小表示単位 |
0.0001mm |
| 測定機能 |
線幅、2点距離、直径、半径、角度、自動測長他 |
| オプション機能 |
AOI機能、CADデータ化機能等 |
| カメラ画像キャプチャ |
キャプチャ機能有り |
| 結果の出力方式 |
CSV形式テキストファイル、印刷 |
| ユーティリティー |
| 本体寸法 |
1135×1070×1544.5mm(WDH） |
| 重量 |
約320㎏ |
| 電源 |
単相AC100V(+10％－5％)＋接地アース |
| PC仕様 |
| OS |
Windows10 Pro 64bit |
| CPU |
IntelまたはAMD |
| メモリー |
64GB以上 |
| ハードディスク容量 |
1TB以上 |
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㈱ステラ・コーポレーション
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