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Stella オリジナルCADデータ比較測長アナライズシステム ST-7080F
-統計的プロセス管理(歩留まり向上・特殊品製造)支援システム-

 

グラナイトステージ&ガントリー搭載のハイエンドモデル「ST-7080F」


▲グラナイト製ガントリー

▲ST-7080F
 ステラ・コーポレーションは、自動測長&自動外観検査(AOI)兼用装置"STシリーズ"のニュープロダクトとして700×800o基板対応の「ST-7080F」を開発しました。用途はデバイス・電子部品メーカー向けの内製スクリーンマスク・フォトマスクを含めたマスク関連、ハイエンドPCB、エッチング加工品、ガラス乾板向けなどを想定しています。

 ST-7080Fは耐振動性をミニマム化するため、基板をセットするステージはもちろんのこと、Y移動するコラムガントリーもグラナイトを採用。ステッピングモーター+ボールねじ 駆動ながら、STシリーズ史上最高の精度を実現しました。実際、その位置決め精度は(2+L/250)μmが得られています。ガントリーがY方向、ガントリー上に設けたヘッドがX移動する仕組みで、従来機に比べフットプリントも大幅にコンパクト化することに成功しました。

 AOI機能に関しては最小ピクセル170nm、350nm、700nm、1700nmで、最小欠陥サイズはそれぞれ500nm、1000nm、2000nm、5000nm。オプションで最小ピクセルサイズ60nm、最小欠陥サイズ250nmも計画しています。

CADデータ比較による高速自動測長機能
測長データ作成、測長も自動により工数を大幅短縮!


画面内の測長を高速処理できます。そのため、数千以上の測長箇所がある複雑な製品もわずか数分で測長できます。
自動高速測長により、短時間・無人作業、測長ミスのない製品保証が可能となります。

便利な機能:CSV出力のフォーマットをカスタマイズ!
CSVフォーマットを合否管理表用の情報で出力! 印刷も対応!

検査データを自動で作成
データから測長ポイントを自動作成!
DXF・DWGの寸法情報から測長ポイントを自動変換!


測長プログラムは、従来手入力によるティーチング方式またはCADデータに対して手動で時間をかけて作成するのが一般的です。しかし、ST-Fシリーズでは測長プログラムも自動で作成できます。ガーバーデータからは予測作成(予測方法をパラメータ化)を行い、DXF・DWGからは寸法情報から自動作成されます。

便利な機能:測長箇所のナンバリングおよび図面化機能!
測長箇所がどこを測っているか一目でわかる自動図面化機能!
また、測長箇所のナンバリングも自動で図面に合わせて表示!




フィルタ機能搭載
フィルタ機能により測長対象を的確に分類!
フィルタ機能により同一箇所でも以下の例の通り、的確に測長対象を分類し測長することができます。



オーバーレイによる解析
CADデータと実写画像をオーバーレイ表示!


潟Xテラ・コーポレーション
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