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Stella オリジナルCADデータ比較測長アナライズシステム STシリーズ
-統計的プロセス管理(歩留まり向上・特殊品製造)支援システム-

 

グラナイトステージ搭載のハイエンドモデル「ST-3020F/ST-6050F/ST-7080F」
測定物仕様
測長可能範囲 600mm×500mm 
最大測定物サイズ 650mm×500mm 
測定物厚 50mm以下
ステージ仕様
移動範囲[XY] 450mm×550mm 
移動範囲[Z] 50mm 
駆動方式 ステッピングモーター＋ボールねじ 
制御 リニアスケールによるクローズドループ 
移動分解能 0.05μｍ 
繰り返し精度 ±0.2μm以下(高倍率モード)
位置決め精度 (2＋L/250)μm(高倍率モード)
観察仕様(エリアカメラ)
（ズームレンズ） （顕微鏡） 
レンズ倍率 1×～4× 2X/5X/10X/20X
視野範囲 [1×]約6.5×4.6mm [2X]約4.2×3.5mm
画素寸法 3.2～0.8μm 1.72～0.17μm
カメラ  500万画素カラー 500万画素カラー
CMOSカラーカメラ 
照明 落射照明、同軸落射、透過照明 
ソフトウェア仕様
最小表示単位 0.0001mm 
測定機能 線幅、2点距離、直径、半径、角度、自動測長他
オプション機能 AOI機能、CADデータ化機能、高さ測定等 
カメラ画像キャプチャ キャプチャ機能有り
結果の出力方式 CSV形式テキストファイル、印刷
ユーティリティー 
本体寸法 1910×1910.3×1740mm(WDH）
重量 約810㎏
電源 単相AC100V(+10％－5％)＋接地アース 
PC仕様 
OS Windows7 64bit以降
CPU Intel Core i7
メモリー 16GB以上
ハードディスク容量 750GB以上

▲ST-6050F
・シリーズ初のグラナイトステージ採用により耐振動性を大幅に改善し測長精度をUP
・グラナイトステージ採用にともない、クロスローラーベアリングを採用
・驚異的な分解能を実現
　　モーションコントローラーの分解能：10nm
　　マシンの位置決め分解能：50nm
・線膨張率0.4μm/m/℃(0～30℃)のインバースケールで驚異の分解能(ST-3020Fで50nm)のクローズドループ制御(オプションで分解能10nmが可能)
・自社開発のモーションコントローラーで10nmの位置決めをハンチングなしで実現
オプションで分解能はピコメータまで対応可能
・2次元補正(コマ補正)により面内位置精度を補正(石英ゴールデンマスター使用可)

・環境チャンバ(オプション)を±0.2℃で制御することによりワークの線膨張の影響を最小限にして高精度測長
・オプションでワーク温度を非接触で0.1℃の精度で測定可能(温度制御、測定はすべて自社開発)

・GPUテクノロジーを駆使した画像処理とデータマッチングによるAOI機能、エッチングシミュレータ機能を実現(オプション)。
・高精度フォトマスクに最適

CADデータ比較による高速自動測長機能
測長データ作成、測長も自動により工数を大幅短縮！

画面内の測長を高速処理できます。そのため、数千以上の測長箇所がある複雑な製品もわずか数分で測長できます。
自動高速測長により、短時間・無人作業、測長ミスのない製品保証が可能となります。

便利な機能：CSV出力のフォーマットをカスタマイズ！
CSVフォーマットを合否管理表用の情報で出力！　印刷も対応！

検査データを自動で作成
データから測長ポイントを自動作成！
DXF・DWGの寸法情報から測長ポイントを自動変換！

測長プログラムは、従来手入力によるティーチング方式またはCADデータに対して手動で時間をかけて作成するのが一般的です。しかし、ST-Fシリーズでは測長プログラムも自動で作成できます。ガーバーデータからは予測作成(予測方法をパラメータ化)を行い、DXF・DWGからは寸法情報から自動作成されます。

便利な機能：測長箇所のナンバリングおよび図面化機能！
測長箇所がどこを測っているか一目でわかる自動図面化機能！
また、測長箇所のナンバリングも自動で図面に合わせて表示！




フィルタ機能搭載
フィルタ機能により測長対象を的確に分類！
フィルタ機能により同一箇所でも以下の例の通り、的確に測長対象を分類し測長することができます。



オーバーレイによる解析
CADデータと実写画像をオーバーレイ表示！

㈱ステラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032
e-Mail support@stellacorp.co.jp
ホームページ https://www.stellacorp.co.jp

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