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Stellaオリジナル ローコスト版測長・検査装置 LSTシリーズ

測長&外観検査兼用装置「STシリーズ」の機能を元に、新しい構造設計により低価格を実現
現場のニーズに合わせたカスタマイズ可能なローコスト版検査装置が誕生

特徴

@機能拡張、カスタマイズ性
 STシリーズの構造を継承しつつ、長年培ってきた独自の要素技術を導入。作業現場のニーズに柔軟に対応可能です。

 カスタマイズ、機能拡張を行うことにより、現場のニーズに沿った検査装置が提供可能です。
例えばデータ補正によるファインパターン対応時に、その補正値を検出する装置として使用できます。

 また、目視アシスト機能として記録をとりながら検査可能です。
 もちろん、複数台を同期して操作することもできます。

Aコンパクトで軽量、場所を選ばない検査装置
 コンパクトで軽量なLSTシリーズは場所を問わず設置できます。
 用途によってデスクトップでも使用可能です。
 また、静音設計ですので、騒音のために設置場所が制約されることはありません。

スペック
測定エリア:500×600o
最小位置決め:0.5μm
倍率:×100、×400選択
速度:150o/sec
線幅測定精度:1μm(×400時)

付加価値型システムLST3040A

補正前
補正後
▲シミュレーション&フィードバックオフセット(画像はエッチング後)

 さらに、弊社はLSTシリーズの付加価値型システムとして「LST3040A」を開発しました。

 LST3040Aはエッチング補正向けの究極版データ解析専用装置です。

 デバイスのエッチング処理ではエッチャント(薬液)の種類やエッチング条件等、またそれらの状態変化によってエッチング結果が大きく左右されるため、理論値での補正では上手くいかない箇所が多々発生します。

 LST3040Aを効果的に活用したエッチング処理では、まずCADデータ(ガーバーデータ)を元にしてエッチングシミュレーションを行い、数パターンのエッチング結果を出力します。次に実基板を一度エッチングした後、そのエッチング結果をLST3040Aによりエッチングシミュレーション結果と比較し、一番近い結果を元データと合わせてフィードバックオフセットを実行して補正データを出力します。

 ユーザーは、この補正データを元に本エッチング処理を行うことにより、最適なエッチング結果を得ることができます。このため、エッチング処理を最適化するデータ解析ツール(装置)と位置づけられます。

 もちろん、LSTシリーズ本来の機能である測長・検査機能もオプションで追加設定可能です。

▲エッチングシミュレーション ※まず最初に行うエッチングシミュレーションのサンプルです。このように複数のサンプルを用意します。


プロセスフロー

@補正前のガーバーデータでエッチング
エッチング特性を確認するため、ノーマルデータを元にしてエッチング
Aシミュレーションデータとエッチング結果を比較
エッチング結果とシミュレーション結果(複数)を比較し最適データを選択
B元データをシミュレーションデータで自動補正
元データとシミュレーションデータからフィードバックオフセットを実行
C補正データでエッチング
フィードバックオフセットデータでエッチングし、その結果を確認

潟Xテラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032
e-Mail support@stellacorp.co.jp
ホームページ http://www.stellacorp.co.jp

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