機能：パターンの外観検査(AOI) 主要用途：PCB、FPC、フォトマスク、リードフレーム、MEMS、ディスプレイなどのパターン 対象膜：Cr、Cu、Al、Ag等
特徴 各種パターンの測長と検査は従来、別々の装置で行うのが一般的です。 これに対し、STシリーズは本来の自動測長機能に加え、外観検査機能も搭載することに成功。元の設計データと実際のパターンを重ね合わせてPCモニター上に表示することができ、パーティクルや欠陥などをモニタリングしてみつけることができます。モニター上でCADデータと重ね合わせるため、検査員も感覚的に検査判定の有無が可能になります。
このため、検査に慣れていない作業者にも容易に取り扱うことができます。PCBだけでなく、フォトマスクなどの検査にも有効です。また、電極などのパターン以外にも、Crベタ膜などのピンホール欠陥も検出可能です。したがって、マスクブランクスなどの検査にも適しています。
さらに、独自アルゴリズムによって検査を自動化することに成功。もちろん、欠陥判定のスレッショルドは任意に設定でき、倍率が異なる画像も連続的に表示することができます。
▲パターン画像例 ※赤の部分が倍率×１、ブルーの部分が倍率×2、橙色の部分が倍率×3、黄色の部分が倍率×3で画像表示する。つまり、検査箇所によって倍率を自在に設定することができ、検査画像も倍率を明示した状態で記録できる。このため、自動検査の高速化にも有効。
▲CADデータを重ね合わせた際の画像例(緑色の部分がCADデータ、その下が実際のパターン)
自動検査にも対応 さらに、ステラ独自アルゴリズムによって検査を自動化することにも成功しました。写真のように、検査対象エリアによって画像表示倍率を変えることができます。このため、パターンが疎なエリアは低倍率、密なエリアは高倍率で検査することができます。もちろん、欠陥判定のスレッショルドは任意に設定できます。また、倍率が異なる画像も連続的に表示することができます。
新たに開発した外観自動検査対応装置は500万画素のエリアCCDカメラに加え、7400画素のラインスキャンCCDカメラを搭載。エリアCCDカメラはパターンの寸法測定(測長)と外観検査後のレビューに、ラインスキャンCCDカメラはAOIに用います。パターンのオープン・ショート欠陥、ピンホール欠陥、突起欠陥などが自動で検出可能で、ラインCCDカメラをスキャンした直後に高速画像処理を行うことによりリアルタイムに近い高速画像変換処理を実現しました。また、検査アリゴリズムにDRC(Design Rule Check)法、CADデータ直接比較法など複数のメソッドを用いることにより検査時間を短縮しました。
具体的には5インチ基板の場合、分解能2μmで90秒、分解能1μmで5分、分解能0.5μmで30分に検査時間を高速化。これは従来に比べ1/5程度に当たります。その一方、最小分解能は0.1μmで、サブミクロンクラスの微細欠陥も検出できます。また、ニーズ次第ではレーザーリペアヘッドも搭載でき、この場合、測長、AOI、レビュー、リペアという1台4役のマルチファンクションマシンになります。
用途は各種フォトマスクやファインピッチPCBなどを想定しており、2010年秋に1号機(ST-200)を出荷しました。もちろん、ST-100(100×100㎜基板対応)、ST-600(610×610㎜基板対応)、ST-750(750×750㎜基板対応)、ST-800(810×810㎜基板対応)もブラッシュアップ可能です。
㈱ステラ・コーポレーション 〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7 Tel: 047-432-5031 Fax: 047-432-5032 e-Mail support@stellacorp.co.jp ホームページ http://www.stellacorp.co.jp
