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FPD/PCB NEWS～1月30日
 

SCREEN 半導体製造装置の新工場が完成
　SCREENホールディングスは、彦根事業所敷地内(滋賀県彦根市)で建設していた半導体製造装置の新工場「S3-4」が完成し、操業を開始したと発表した。総工費は約100億円。

　S3-4は地上2階建て延床面積約9,625m2。主力製品である枚葉式洗浄装置などを生産する。

FPD/PCB NEWS～1月26日
 

東大 塗布型半導体を用いて最高クラスの高速動作を示す相補型発振回路を開発

　東京大学大学院新領域創成科学研究科、同マテリアルイノベーション研究センターの共同研究グループは、塗れるp型有機半導体とn型無機半導体(酸化物半導体)を集積化することで超高速動作する有機無機ハイブリッド相補型発振回路を開発した。

　有機半導体単結晶を温和条件で転写することにより、溶媒や熱などによる酸化物半導体の化学的劣化を抑制。有機材料と無機材料の間に内在する化学的性質の壁を打破する集積技術を開発し、発振回路の世界最高クラスの高速動作に成功した。もちろん、フレキシブルなプラスチック基板へのデバイス作製が可能となる。

FPD/PCB NEWS～1月18日
 

産総研と量研 可視光の99.98％以上を吸収する至高の暗黒シートを開発
　産業技術総合研究所(産総研)と量子科学技術研究開発機構(量研)の研究グループは、漆類似成分のカシューオイル黒色樹脂の表面に微細な凹凸を形成して光を閉じ込めることで可視光の99.98％以上を吸収する"至高の暗黒シート"を開発した。

　イオンビーム照射と化学エッチングで微細円錐状の凹凸(光閉じ込め構造)の原盤を形成し転写する方法を幅広い素材に拡張したもので、光吸収率が格段に向上した暗黒シートを開発。なかでも、カシューオイル黒色樹脂は素材内部からの散乱反射(くすみ)が少なく、光閉じ込め構造によって素材表面の鏡面反射(ぎらつき)も抑えることでレーザーポインターが消えて見えるほどの深い黒を実現した。実際、従来の暗黒シートに比べ可視光の半球反射率が一桁以上低い0.02％以下と、触れる耐久性を有する素材として世界一の黒さが得られた。

FPD/PCB NEWS～1月17日
 

信越化学 マイクロLEDディスプレイ向けの新プロセス技術と移送部品を開発


▲レーザーで狙った場所に転写されたACFで接続されたマイクロLEDチップ(35×60μm)
　信越化学工業は、マイクロLEDディスプレイ製造用の新規プロセス技術を開発したと発表した。

　プロセス技術はデクセリアルズと共同開発したもので、"Φ80μm以下に個片化した異方性導電膜(ACF)をレーザーで狙った場所に転写する画期的な技術"を導入した。指定された電極だけに個片化したACFを飛ばし、LEDチップを搭載できるため、これまで課題となっていたマイクロLEDディスプレイ製造時のリペアプロセスが容易となる。

　また、さらなる生産性向上や多種多様なチップへの対応などの要望に応えるため、信越エンジニアリング、信越ポリマーと共同で①硬化型ドナープレート「SQDP-B」シリーズ、②多段形状ドットタイプ6インチ大型スタンプ「EZ-PETAMP」シリーズ、③四つの工程を1台のレーザーで対応可能な4in 1装置「Invisi LUM-X4」、④Mini-LEDディスプレイ用ブラックマトリクス(BM)封止フィルム、の移送部品・移送装置を開発し、製品ラインアップを拡充した。

FPD/PCB NEWS～1月16日
 

長瀬産業 子会社の林原とナガセケムテックスの生化学品事業を統合

　長瀬産業は、4月1日付で子会社である林原とナガセケムテックスの生化学品事業を統合すると発表した。ナガセケムテックスが福知山事業所(京都府福知山市)で展開する生化学品事業を林原が承継する。

FPD/PCB NEWS～1月10日
 

東北大 セルロースナノファイバーで半導体特性を発見

　東北大学未来科学技術共同研究センターの福原幹夫リサーチフェロー、同大学大学院工学研究科附属先端材料強度科学研究センターの橋田俊之教授らの研究グループは、セルロースナノファイバー(CNF)組織を制御したナノサイズのシート材に半導体特性が発現することを発見した。

　CNF組織を制御したナノサイズのシート材のI-V特性は、負電圧領域に顕著な現象であるn型半導体特性を示した。また、直流通電時の並列回路(低伝導帯)から交流通電時の並列回路(高伝導帯)に変化する特性も示した。

　このため、高価な高純度Si素材やレアメタルを用いた化合物半導体と異なり、低廉で無害のバイオ素材による半導体作製の可能性が浮上。また、日本に豊富に存在する森林資源を活用することにより植物由来の半導体によるペーパーエレクトロニクスの実用化が期待される。

FPD/PCB NEWS～1月6日
 

東北大 グラフェン量子ドットデバイスの集積化合成技術を開発

　東北大学大学院工学研究科電子工学専攻の加藤俊顕准教授らのグループは、同大学材料科学高等研究所、電気通信研究所、量子科学拠点(TQA:Tohoku Quantum Alliance)の大塚朋廣准教授のグループと共同でグラフェンの1次元材料であるグラフェンナノリボンを活用した新しいグラフェン量子ドットデバイスを開発した。同一基板内に複数のデバイスを作製した結果、量子ドット特性の基本であるクーロンダイヤモンドを半数以上の56％のデバイスで観測し、将来の大規模集積化の可能性を実証した。

　また、量子コンピュータ応用に向けて重要となる励起準位(ダイヤモンドの淵に現れる平行線)が20K(-273℃)まで安定に存在可能であることを明らかにした。この技術を用いることにより、将来の量子コンピュータの高性能化や高温動作への貢献が期待できる。

FPD/PCB NEWS～1月5日
 

東大 有機半導体デバイスに有用な電子不足パイ電子骨格群を開発

　東京大学大学院新領域創成科学研究科の岡本敏宏准教授、Craig P.Yu特任助教、熊谷翔平特任助教、竹谷純一教授は、電子不足なπ電子系骨格に環状アミドを縮合させたπ電子系ベンゾ[de]イソキノリノ[1,8-gh]キノリンジアミド(BQQDA)骨格を開発した。段階的な元素置換や官能基を導入した化合物群の合成にも成功し、電子受容性や光学特性を系統的に制御できることを明らかにした。これらは良好な溶解性を示す一方、十分な結晶性も有するため、さまざまな有機半導体デバイスへの応用が期待される。

　BQQDA骨格を鍵骨格とすることにより、枝分かれ的に多様な化合物群が合成可能になる。この結果、幅広い電子受容性や光学特性に展開可能になり、戦略的に分子を設計することでデバイス用途に応じた高性能有機半導体の開発につながると期待される。今回の研究では有機トランジスタを作製し、大気安定なn型トランジスタ特性を示すことを実証した。