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FPD/PCB NEWS～10月26日

新光電気 新井工場に次世代プラスチックBGA基板製造ラインを導入

　新光電気は、半導体メモリーの小型・薄型化に対応する次世代プラスチックBGA基板に対する設備投資を実施すると発表した。

　同社のプラスチックBGA基板はハイエンドスマートフォンに搭載される半導体メモリーなどに使用されている。今回、新井工場(新潟県妙高市)に最先端のMSAP(Modified Semi Additive Process)工法による次世代プラスチックBGA基板の製造ラインを導入することにした。投資額は16億円で、2019年度下期に稼働する予定。
 

東北大 無欠陥・配置制御ナノピラー構造により表面濡れ性を制御

　東北大学は、バイオテンプレート技術と中性粒子ビーム加工技術を融合し直径10nmサイズの無欠陥シリコンナノピラー構造を作製し、その表面状態や間隔・深さを制御することにより表面濡れ性を親水から撥水まで自在に制御することに成功した。

　トップダウン加工(ドライエッチング)であるがゆえに材料を問わず配置制御して作製でき、また究極まで表面の欠陥を抑制できるため、あらゆる材料の表面で親水性から撥水性まで表面濡れ性を自在に制御できるという。

FPD/PCB NEWS～10月17日

東京エレクトロン 有機ELD用インクジェット装置をリリース
　東京エレクトロンは、有機ELディスプレイ製造用インクジェット描画装置「Elius 1000」の販売を開始したと発表した。

　Elius 1000は8Kテレビなど200ppiを超える高解像パネルにも対応。最大6種類のインク材料を同時に搭載することができる。

FPD/PCB NEWS～10月16日

東京エレクトロン 第10.5世代対応ドライエッチング装置をリリース
　東京エレクトロンは、第10.5世代(2,940×3,370mm)ガラス基板に対応可能なドライエッチング装置「Impressio3300 PICP」をリリースすると発表した。

　PICPは、酸化物TFTにも対応できるよう独自開発した高密度プラズマ源を搭載したエッチングモジュール。従来機種のICP-duoに比べプラズマのエネルギー効率が20％アップしたため、生産性・加工均一性が向上するだけでなく、ランニングコストも低減できる。

FPD/PCB NEWS～10月15日

JUKIと日立 IoT活用によるPCB生産ラインの最適化に向け協創

　JUKIと日立製作所は、IoTを活用したPCB生産ラインの最適化に向け協創を開始したと発表した。

　第一弾としてマウンタや自動倉庫といったJUKIの電子・産業装置の開発・製造技術と、日立大みか事業所(茨城県日立市)で培った高効率生産モデルや運用ノウハウなど、両社の強みを融合し、設備データを活用して変種変量生産を最適化する「プリント基板生産最適化ソリューション」を開発した。JUKIは、このソリューションを実装統合システム「JaNets」と連携するソリューションとして取り扱い、JUKIの電子基板製造装置ユーザー向けに提供する。

FPD/PCB NEWS～10月12日

東京エレクトロン宮城 本社工場敷地内の新開発棟が竣工
　東京エレクトロン宮城は、本社工場敷地内(宮城県黒川郡大和町)に建設していた新開発棟「第二開発棟)」が完成し竣工式を行ったと発表した。

　第二開発棟は地上1階建て延床面積1万1,700m2で、ドライエッチング装置の開発力を高める狙い。
 

トクヤマ 台湾に研究所を開設

　トクヤマは、半導体関連製品事業の新たな海外拠点として台湾に研究所「トクヤマ台湾研究所(Tokuyama Corp.Taiwan Research Laboratory)」を開設したと発表した。

　研究所は新規製品創出に向けた情報収集・マーケティング拠点として運営するとともに、現地の半導体メーカー・研究機関などと共同開発を行う開発拠点としての役割を担う。

FPD/PCB NEWS～10月11日

キヤノン 第8世代ガラス基板対応のFPD用露光装置をリリース
　キヤノンは、第8世代ガラス基板サイズ(2,200×2,500mm)対応のFPD用露光装置“MPAsp-H1003T"を製品化すると発表した。露光解像度はL&S＝2μmで、65型パネルが一括露光できる。

　新開発したミラー光学系、独自の加工技術により、従来機種「MPAsp-H803T」と同等の解像力2μmを維持しながら、従来最大58型だった一括露光範囲を65型にまで拡大。この結果、65型パネルでタクトタイムを約37％短縮した。また、倍率補正技術と同時多点アライメントシステムの組み合わせにより、オーバーレイ精度(重ね合わせ精度)を約10％高めた。
 

三菱ケミカル 日本合成化学工業を合併

　三菱ケミカルは、連結子会社である日本合成化学工業を2019年4月1日付で吸収合併すると発表した。

　日本合成化学はポリビニルアルコール(PVOH)、LCD表示用PVOHフィルム、エチレン・ビニルアルコール共重合樹脂(EVOH)などの合成樹脂製品を中心に事業を展開している。

FPD/PCB NEWS～10月9日

Merck フォトレジストを効率的に除去するグリーンケミストリーを製品化

　独Merckは、フォトリソグラフィプロセスによってターンキー・プラットフォームを作成する際に用いる環境配慮型グリーンケミストリーを発表した。新シリーズの第一弾「AZ Remover 880」は非N-メチル-2-ピロリドン(NMP)ベースの化学品で、リフトオフプロセスで線幅が縮小し歩留まりやコストに問題が生じるデバイスの加工技術ニーズに応える。

　AZ Remover 880は毒性の高いNMPベースの化学品を代替。現在提供されているNMPベース製品のようにフォトレジストをウェハーの表面から持ち上げて取り除くのではなく、ネガとポジの両方のトーンを分解する。この結果、除去プロセスにかかる時間を半分に短縮できるという。

FPD/PCB NEWS～10月5日

ジャパンディスプレイ AI技術を活用したダイナミックプライシングソリューションを開発

　ジャパンディスプレイは、AI技術を活用した商品価格算出により店舗経営をアシストするダイナミックプライシングソリューション(DPS)を開発したと発表した。

　DPSは、AIが商品の販売実績を分析するとともに、お客様要因および店舗要因から価格弾力性を算出して最適価格を導くソリューション。DPSを導入することにより、売上高・利益拡大に寄与させる。さらに、DPSシステムと電子棚札ディスプレイを連携させることによりリアルタイムの価格表示変更が可能になり、店舗業務効率を改善することができる。

　同社は従来、ディスプレイのハードウエア事業に特化してきたが、ディスプレイに表示する情報を自らが創り出す事業にまでバリューチェーンを拡げていく考え。

FPD/PCB NEWS～10月4日

荏原 三重県鈴鹿市にドライ真空ポンプのオーバーホール工場を新設
　荏原フィールドテックは、三重県鈴鹿市でドライ真空ポンプのオーバーホール工場(修理工場)の地鎮祭を行った。同社にとってドライ真空ポンプのオーバーホール工場は4か所目。

　建築面積は約2910m2で、2019年6月に稼働を開始する予定。投資額は約10億円。