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パッシブマトリクス駆動電子ペーパー製造フローとステラプロダクト

製造フロー(PM駆動マイクロカプセル型電気泳動ディスプレイの例)
ステラプロダクト

デバイス構造


 

@CADデータ作製



Aガスバリア層形成(前面基板)




B透明電極形成(前面基板)



レジスト現像後およびITO膜パターニング後、測長&外観検査
測長&AOI装置「STシリーズ

ITOパターニング後、リペア
リペア装置「Repair Vision」


C
エレクトリックインク印刷(前面基板)




D透明電極形成
(背面基板)



レジスト現像後およびITO膜パターニング後、測長&外観検査

測長&AOI装置「STシリーズ

ITOパターニング後、リペア
リペア装置「Repair Vision」


Eシール層形成(背面基板)


 


F両面基板貼り合わせ


 

潟Xテラ・コーポレーション
〒273-0024 千葉県船橋市海神町南1-1544-7
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