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IRスペクトル

 試料に赤外線を照射し透過光あるいは反射光を分光する赤外分光法(Infrared Spectroscopy:IR)で得られたスペクトル。IRスペクトルから対象物の分子構造や状態を評価する。


イオン化ポテンシャル

 原子、イオンなどから電子を取り去ってイオン化するために必要なエネルギー。ある原子がその電子をどれだけ強く結びつけているのかの目安を意味する。単位はeV。


XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)

 X線を用いたX線光電子分光法で、固体内の原子核付近で深い内殻準位に束縛されている電子状態を調べることができる。


OD(Optical Density)値

 黒色度を示す指標で、透過率と対比する用語。0〜6の6段階で表し、1は透過率100%、6は透過率0.0001%である。フォトマスクの遮光膜やカラーフィルターのブラックマトリクスといった遮光用途では4もしくは5が求められる。


クロスカット法

 密着性・付着性を調べる試験方法で、テスト方法が容易なため、塗装分野をはじめ広く用いられる。


SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)

 2次イオン質量分析法。イオンを試料表面に入射すると、試料表面から電子、中性粒子、イオンなどさまざまな粒子が放出される。SIMSはこれらの粒子のうちイオンを検出し、各質量における検出量を測定することにより試料中に含まれる成分の定性・定量を評価する方法。


CV法

 Cyclic Voltammetryの略で、電位の関数として電流を測定する方法。


昇温脱離ガス分析(TDS-MS:Thermal Desorption Spectroscopy andMass Spectroscopy)

 昇温脱離ガス分析(TDS-MS)は、元来半導体ウェハーからの脱離ガスを分析するために開発された方法。高真空チャンバ内で加熱・昇温し、昇温中に試料表面から脱離して発生するアウトガス成分を分析する。エレクトロニクスデバイスの各種膜や材料の評価、また有機汚染解析などに用いられる。


TOF-SIMS(Time-of-Flight Secondary Mass Spectrometry)

 飛行時間型2次イオン質量分析法。固体試料にイオンビーム(1次イオン)を照射し、表面から放出されるイオン(2次イオン)をその飛行時間差を利用して質量分離する方法。試料表面から1nm以下の深さに存在する元素または分子種に関する情報が高い検出感度で得られる。試料表面の構造解析に適しており、ほぼ非破壊で分析が可能。


Tg(ガラス転移点)

 固体結晶を加熱すると融点で液体に変わりはじめ、固体と液体が共存する間は温度が融点に維持され、固体がすべて液体に変わるとその温度が上昇する。

 非晶質の固体を加熱すると、低温では結晶並みに硬く流動性がない(粘度が測定不能なほど大きい)固体が、ある狭い温度範囲で急速に剛性と粘度が低下して流動性が増す。この際の温度をガラス転移点という。ガラス、プラスチックフィルム、有機材料などの耐熱性を示す指標としてよく用いられる。


TGA(thermogravimetry analysis)

 熱重量分析。試料を一定の昇温速度で加熱して耐熱性を評価する手法。一般に大気雰囲気では酸化劣化による損傷が大きくなり耐熱性が低くなる。これに対し、N2をはじめとする不活性雰囲気では酸化劣化がないため耐熱性が高くなる。


軟化点

 固体物質を加熱していく際に、物質が軟化し変形しはじめる温度。


フォトルミネセンス(PL)

 物質に光(フォトン)を照射し、励起された電子が基底状態に遷移する際に発生する光を観測する方法。この発光は物質の不純物や欠陥に影響を受けやすいため、発光を分光し詳細に解析をすることによって物質中の欠陥や不純物の情報を得ることができる。


UPS(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy)

 物質に光を照射することにより物質中の電子を外部に叩き出し、その数と運動エネルギーを測定して物質中の電子が占有する状態のエネルギーと状態密度を調べる光電子分光解析のひとつ。紫外線を用いた紫外線光電子分光法で、価電子帯や浅い内殻準位の電子状態などを調べることができる。


ラマン分光法

 光が物質に入射して分子と衝突すると、その一部が散乱される。この散乱光の波長の大部分は入射光と同じ波長(レイリー散乱光)だが、ごくわずかな成分として入射光と異なる波長の光が含まれている。この入射光とは異なる波長を持つ光の振動数が分子の固有振動数になっていることをラマン効果という。

 ラマン分光法は、この入射光と異なる波長を持つ光(ラマン散乱光)の性質を調べることにより、物質の分子構造や結晶構造などを解析する方法。微小量の試料で評価・解析できるため、水溶液の評価、強誘電体の相転移機構や結晶の格子振動などの固体の物性研究に用いられる。

 

※今後も随時用語集を追加していく予定です。

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